Mikroukłady scalone

Treść

Mikroskop sił atomowych (AFM, ang. atomic force microscope) posłużył polskim naukowcom jako narzędzie do tworzenia mikroskopijnie małych układów scalonych o wielkości poniżej 30 nanometrów, które mogą służyć jako elementy nano- i mikroelektronicznych urządzeń przyszłości.

Niezwykle szybki postęp miniaturyzacji, jaki można zaobserwować w ostatnich latach w przemyśle elektronicznym, wymusza poszukiwanie nowych rozwiązań technicznych, które pozwolą na zastąpienie "wyeksploatowanych" już technologii. Obecnie widać kres stosowanej od lat techniki fotolitografii, która umożliwia produkcję miniaturowych układów scalonych, znanych z większości urządzeń elektronicznych dostępnych dziś w handlu. Naukowcy z Politechniki Wrocławskiej oraz warszawskiego Instytutu Techniki Elektronowej, których prace koordynowane były przez dr. hab. Teodora Gotszalka oraz dr. inż. Piotra Grabca, opracowali system tworzenia ultramałych elementów półprzewodnikowych o wielkości kilkudziesięciu nanometrów. Nanometr to miliardowa część metra. Metoda zaprezentowana przez polskich naukowców wykorzystuje właściwości mikroskopu sił atomowych, którego końcówkę detekcyjną badacze zastosowali do lokalnej, w skali nano, anodyzacji powierzchni półprzewodnika. Dzięki temu mikroostrze mikroskopu AFM w odpowiednich warunkach tworzy na powierzchni półprzewodnika elementy (z utlenionego półprzewodnika), które mogą pełnić funkcję różnego typu podzespołów elektronicznych. Według polskich badaczy, zastosowanie mikroskopu sił atomowych do produkcji nano- i mikrourządzeń przydatnych w konstrukcji nowoczesnej elektroniki przyszłości pozwala dodatkowo na przeprowadzenie testów jakości i poprawności działania bez konieczności zmiany aparatu badawczego. Cecha ta jest szczególnie istotna dla instytutów badawczych zaangażowanych w prace rozwojowe nowoczesnej elektroniki, gdyż nie tylko przyspiesza eksperymenty, ale również znacząco obniża koszty prowadzenia badań nad prototypowymi urządzeniami.

"Nasz Dziennik" 05.07.07

Autor: aw